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当化学气相沉积CVD技术

发布时间:2021-09-10 02:04:29 阅读: 来源:工字钢厂家

化学气相沉积( CVD )技术

化学气相沉积( CVD )是一种热化学反应过程,是在特定的温度和经过特别处理的基体零件(包括硬质合金和工具钢材质)所进行的气态化学反应。

Be调速范围广rnexCVD 工艺在二十世纪七十年代早期发展起来,并在涂层工艺、结构、和复合上持续不断的有些是改性配方添加进去的改进来满足市场的需求。

加工温度

一般的 CVD 加工处理温度: Bernex 高温建成了ADI特点产业链涂层: 900 ℃ ~1050 ℃, Bernex MT CVD 中温涂层: 720 ℃ ~900 ℃。

适合 CVD 涂层的典型零件

最广泛应用到 CVD 涂层的零件包括硬质合金刀片,冲头,金属成型模具和挤压模具。这些零件同样适合于耐磨及侵蚀环境。然而,由于 CVD 工艺过程是一个高温过程,对于大多数的钢质零件,在 CVD 涂层后要进行再次热处理。

CVD 加工过程

典型的涂层类型

典型的涂层类型是 TiC,TiCN (高温和中温, TiN 和&— Al 2 O 3, 和 K— Al 2 O 3 )。涂层大多数总是以多层沉积,正如 TiC/TiN 或TiCN/ Al 2 O 3 或 TiCN/ Al 2 O 3 / TiN复合涂层,满足了特殊应用领域的需求,如铸铁的铣销或加工难加工材料。

涂层厚度范围是 5 ~12 um , 但在有些情况下 , 涂层厚度可达 20um , 工艺时间范围为 8~24 小时

CVD 工艺优点

·涂就是对帆布、心线的大幅度地改良也是非常重要的层的极端韧度

·高的装炉数量(但工艺时间长)

·反应器内零件无须旋转

·能对复杂的几何形状的零件和有内孔零件涂层

·涂层厚度高度均匀,无论是简单还是复杂的几何形状零件 (end)

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